聚焦离子束 (FIB)
Spellman 开发的 FIB 系列集成了高压电源，可驱动具有达到 nm 分辨率所需性能的完整离子射束柱。FIB 系列将高稳定性加速器电压与浮动输出相结合，可在紧凑的 19 英寸机架解决方案中驱动传统的镓离子源，当与维恩速度过滤器技术搭配使用时，还能驱动等离子和其他多种源材料。可使用额外的镜头架，提供聚焦射束柱所需的高性能固定极性或可逆极性高压镜头。
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- Ga 离子源和等离子源 FIB 电源和透镜
- 加速器、灯丝、提取器和抑制器
- 精密加速器在 30 µA 时提供 35kV
- 接地参考。 镜头高达 30kV，固定或反极性
- 多个数字接口，测试 GUI
- CE 标志和设计符合 SEMI S2
