物理气相沉积
物理气相沉积是一个涵盖多种薄膜沉积技术的术语，其中需要高压直流电源。两种非常常见的 PVD 工艺是溅射和电子束蒸发（电子束蒸发）。 斯派曼为这两种技术提供通用和专用电源。
斯派曼的 EVA 系列是电子束蒸发系统的理想选择。这些电源采用高效且坚固的固态电路拓扑设计，对电弧具有高度耐受性，并提供用户可配置的电弧管理设置，可针对不同的工艺和沉积条件进行优化，以帮助保持一致且无缺陷的涂层。EVA 系列电源提供不同的配置，包括集成灯丝电源和多路输出，提供无与伦比的经济性和灵活性。
与电子束蒸发电源一样，对电弧的响应对于稳定和一致的等离子溅射工艺很重要。我们的许多标准机架安装和模块化电源可以优化用于溅射，例如通过限制存储能量和定制电弧恢复时间。由于对等离子溅射电源的广泛要求，我们鼓励您联系我们的应用专家讨论您的独特规格。
- Output Voltages from 5kV to 10kV
- Output Power 3kW, 6kW and 12kW
- Designed for E Beam Coating Applications
- Fast, User Configurable Dynamic Arc Intervention
- Optional Filament Gun Supply (up to 3 channels)
- Models from 1kV to 150kV
- 6kW Output
- Single 6U (10.5”) Chassis
- Remote Analog and Remote Ethernet Interface
- Arc and Short Circuit Protected
- User Configurable Settings Via Ethernet Interface
