扫描电子显微镜 (SEM)

Spellman 在该应用领域的广泛知识使我们有能力开发一系列可定制的技术平台，能够满足客户严苛的电子束要求。Spellman 的 EBM 系列包含驱动大多数发射器的解决方案，包括 Tungsten 和 LaB6 等热离子发射器，以及冷阴极和肖特基等场发射类型的发射器。所有产品都具有积分输出，以提供加速电压并驱动发射器，许多产品还包括高压输出，用于驱动部署在显微镜上的许多检测器。凭借 Spellman 内置的卓越性能，包括低纹波和低微放电以及亚 ppm 级别的稳定性，客户可以确保从可重复的可靠来源获得最佳图像质量和分辨率...Spellman。

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